ＤＫＬ・ステージリンク２用外部仕様ファイル変換プログラム「ＳＤＦコンバータ」(型式:SD2-SDFC/R2)

主な仕様

対応ファイル
            ＳＥＭ用データフォーマット（ＳＤＦ）Ｖｅｒ１．３
            ・ＤＡＴＡ．ＮＡＭ ・ＤＡＴＡ１〜９９．ＤＡＴ ・ＩＤＷファイル
変換単位
            ・ＤＡＴＡ．ＮＡＭファイル内のインデックス情報を元にＤＡＴおよびＩＤＷファイルを一括して変換
            します。
            ・ＤＡＴファイル内の複数スロットを変換しスロット単位の座標ファイルが生成されます。

            ※座標ファイルの名前は、変換元のＤＡＴファイル名（拡張子名を除く）とスロット番号が付けられま
            す。
最大座標数
            最大８０００件／座標ファイル
変換項目
            ＜ステージリンク項目＞                ＜ＳＤＦ項目＞
            分類番号（０〜９９）      ○○（設定値または、条件式により分類）機能欄参照
            座標名（最大１２文字）    ○○ （順番号）
            Ｘ，Ｙ位置（μｍ単位）    ○○ Ｘ，Ｙ座標（μｍ単位）
            固有情報（最大２５５文字）○○（下記項目を複数指定で格納できます。）
                                                    ・サイズ
                                                    ・分類コード
                                                    ・Ｘ，Ｙ座標（μｍ単位）
                                                    ・ＶＴＲページ

            ※座標名は、異物座標のときは”Ｐ：順番号”となり、ダイ座標のときは”Ｄ：ダイＸ，ダイＹ”とな
            ります。
            ※固有情報への格納で複数のＳＤＦ項目が指定された場合は項目の仕切りにカンマ（，）が入ります。

主な機能
条件分類
            ＳＤＦ項目の内容と指定値を比較して条件（＝，＞，＜）を満たすときに指定の分類番号（０〜９９）
            を設定する機能です。最大９９件の条件式が登録できます。
分類色定義
            分類番号（０〜９９）に対して色を定義できる機能です。上記機能と合わせて使うことで色別に表示さ
            れた座標データにより位置出しの操作も楽になります。
ダイ座標変換
            異物座標と一緒にダイ原点座標も変換する機能です。位置補正時の基準点として活用できます。（※１）
自動原点決め
            ＩＤＷファイル内のダイ情報を参照して座標原点を自動的に設定する機能です。（※１，※２）
手動原点決め
            自動原点決めを無効にして任意の位置を原点にする機能です。
ウェハ図添付
            ＩＤＷファイル内のウェハサイズを参照してウェハの円やオリフラ線を自動作図して添付する機能です。


（※１）パターン付きウェハの場合に限り有効な機能です。
（※２）ダイ数とダイピッチからサンプルの中心位置を求めその位置がステージリンクのゼロ原点となるように座標変換されます。

このカタログは、２００７年０５月２５日に作成されたものです。
出荷元：（株）電子光学研究所 作成：松田 智樹（システム設計部）
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