ＤＫＬ・ステージリンク２用外部仕様ファイル変換プログラム「ＫＲＦコンバータ」(型式:SD2-KRFC/R2)
主な仕様
対応ファイル
KLA RESULTS FILE FORMATS（ＫＲＦ）Ｒｅｖ１．０
変換単位
ＫＲＦファイル内の複数スロットを変換しスロット単位の座標ファイルが生成されます。複数のＫＲＦ
ファイルを一括して変換することも可能です。
※座標ファイルの名前は、変換元のＫＲＦファイル名（拡張子名を除く）とスロット番号が付けられま
す。
最大座標数
最大８０００件／座標ファイル
変換項目
＜ステージリンク項目＞ ＜ＫＲＦ項目＞
分類番号（０〜９９） ○
○（設定値または、条件式により分類）機能欄参照
座標名（最大１２文字） ○○ ＤＥＦＥＣＴＩＤ
Ｘ，Ｙ位置（μｍ単位） ○○ Ｘ，ＹＲＥＬ（μｍ単位）
固有情報（最大２５５文字）○○（下記項目を複数指定で格納できます。）
・Ｘ，ＹＲＥＬ（μｍ単位）
・Ｘ，ＹＩＮＤＥＸ
・Ｘ，ＹＳＩＺＥ（μｍ単位）
・ＤＥＦＥＣＴＡＲＥＡ（μ
単位）
・ＤＳＩＺＥ（μｍ単位）
・ＣＬＡＳＳＮＵＭＢＥＲ
・ＴＥＳＴ
・ＩＭＡＧＥＣＯＵＮＴ
・ＩＭＡＧＥＬＩＳＴ
※座標名は、異物座標のときは”Ｐ：ＤＥＦＥＣＴＩＤ”となり、ダイ座標のときは”Ｄ：ダイＸ，ダ
イＹ”となります。
※固有情報へ格納されるＫＲＦ項目の中でμｍ単位の値は小数点６位までのμｍ単位へ変換されます。
※固有情報への格納で複数のＫＲＦ項目が指定された場合は項目の仕切りにカンマ（，）が入ります。
主な機能
条件分類
ＫＲＦ項目の内容と指定値を比較して条件（＝，＞，＜）を満たすときに指定の分類番号（０〜９９）
を設定する機能です。最大９９件の条件式が登録できます。
分類色定義
分類番号（０〜９９）に対して色を定義できる機能です。上記機能と合わせて使うことで色別に表示さ
れた座標データにより位置出しの操作も楽になります。
ダイ座標変換
異物座標と一緒にダイ原点座標も変換する機能です。位置補正時の基準点として活用できます。（※１）
自動原点決め
ＫＲＦファイル内の原点項目を参照して座標原点を自動的に設定する機能です。（※２）
手動原点決め
自動原点決めを無効にして任意の位置を原点にする機能です。
ウェハ図添付
ＫＲＦファイル内のウェハ項目を参照してウェハの円やオリフラ線を自動作図して添付する機能です。（※３）
（※１）パターン付きウェハの場合に限り有効な機能です。
（※２）原点項目からサンプルの中心位置を求めその位置がステージリンクのゼロ原点となるように座標変換されます。
（※３）サンプル形状が円形の場合に限り有効な機能です。矩形サンプルは対応していません。
このカタログは、２００７年０５月２５日に作成されたものです。
出荷元：（株）電子光学研究所 作成：松田 智樹（システム設計部）
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