■D→S座標変換
CHG_DEVICE_TO_STAGE
ステージ座標(パルス単位)をステージ座標(μm単位)に変換します。
それぞれの座標系については、
■ワールド座標系について
をご覧ください。
・要求メッセージの書式
CHG_DEVICE_TO_STAGE△X位置,Y位置
・応答メッセージの書式
SUCCESS|FAILURE△X位置,Y位置